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实现半导体产品的稳定生产
作者:强力球彩票 发布时间:2021-01-23 12:10

  半导体设备在使用中产生振动,腔体在支撑件上产生不稳定状态,容易造成腔体中反应气体分布不均,从而造成等离子分布的不均匀。另外,倾斜的腔体也会对机械手传送晶圆造成干扰,导致机械故障等问题发生,会降低半导体处理制程的良率。基于以上分析,半导体设备在使用时,腔体需要保持水平和固定。这样设备在运行时才能不改变腔体的状态,保证设备持续运行稳定,实现半导体产品的稳定生产。因此,需要设计一种新型的机架结构,保持腔体的稳定。

  本发明以解决上述问题为目的,提供一种机架结构,通过具有加固条和支撑座的长方体全钢框架实现半导体等离子体反应腔体的水平度和稳定度,并且整个机架内部整齐美观,方便检查和维修。

  一种机架结构,所述机架结构安装于反应腔室的正下方,该机架结构包括机架本体,走线槽,加固条,载物平台,支撑座与滑轮;所述机架本体上设有走线槽,机架本体的两个侧面分别安装一根加固条,增加机架本体的称重能力和稳定性;所述载物平台固定在所述机架本体的下表面,机架本体的底部还设有滑轮与支撑座。

  本发明的机架结构为长方体全钢框架,有较好的承重性。机架上表面与反应腔体通过螺丝相连,可更换不同反应腔体。机架侧面分别设有一根加固条,增加机架的承重能力和稳定性。机架下表面有四个滑轮和四个支撑座以及两个载物平台,滑轮起到移动机架的作用,可调节支撑座起到调整腔体水平,并固定机架的作用,载物平台可放置电气箱等装置。机架的框架上设有走线槽,利于各种电线的排布。通过具有加固条和支撑座的长方体全钢框架实现半导体等离子体反应腔体的水平度和稳定度。并且整个机架内部整齐美观,方便检查和维修。

  下面结合实施例进一步对本发明进行详细说明,但发明保护内容不局限于所述实施例:

  参照图1-2,一种机架结构,所述机架结构安装于反应腔室的正 下方,该机架结构包括机架本体1,走线上设有走线的两个侧面分别安装一根加固条2,增加机架本体1的称重能力和稳定性;所述载物平台4固定在所述机架本体1的下表面,机架本体1的底部还设有滑轮6与支撑座5。

  安装时,将机架本体1与反应腔体通过螺丝将二者相连接,通过滑轮6将机架本体1移动至预定位置,锁死滑轮,避免机架移动,通过调节支撑座的高度并配合使用水平仪来调整机架和反应腔体的水平度,将两个电气箱分别放置于机架下方的载物台4上,将所引出的电线与反应腔体相连。整个机架内部整齐美观,方便检查和维修。

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